第57章 我们就走这条路
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连学志笑道：“不是不用光罩，而是组合重复使用，将光罩作为固定投资，而不是耗材。”
光罩国内也有人叫它掩膜版，在目前所有晶圆厂中，包括intel，台积电，中芯等，都是作为耗材使用的。
每一款芯片，都必须为它制作一组光罩组。哪怕它们没有损坏，到了下一款芯片，这些光罩组，都不能使用了，必须为新芯片制作新的光罩。
比如华为麒麟950，流片和生产的时候，用了一组光罩；等到麒麟960的时候，不少设计其实是相同的，但是老的光罩一点都不能用了，必须全换新的。这些成本全部由华为承担。
随着工艺的提升，光罩的费用也在飞速增加，从几百万美元，到上千万美元，在新工艺的初期，价格甚至会达到上亿美元。
小米做手机芯片，愣是不敢直接上16nm，就是怕流片失败。
苹果财大气粗，可以流片2，3次，然后选出最好的定型。
但是换作其他芯片厂，失败一次就元气大伤，失败两次差不多就要破产了。
所以，不要抱怨芯片设计保守，不保守不行。
迷你晶圆厂就没有这些问题了，光罩在这里是作为固定资产，而不是耗材，流片的成本，瞬间会骤降！
陈飞激动不已，跟着他又想起一个问题来：“不知道用电子束，能不能达到10nm工艺。”
连学志有些矜持地说道：“我在IBM的时候，做过2nm的器件，当然只有几十个晶体管了，主要是探索工艺。”
陈飞直接跳了起来，要不是连学志就在眼前，要保持形象，他直接想爆粗口了。
他激动地走来走去，过了一会儿，才将思路重新整理清楚。
他操作了一会，用全息影像的方式，将思路展现出来。
只见影像中，芯片设计公司，将设计图交给晶圆厂，然后晶圆厂分析设计图，再从光罩库中，选择光罩单元，将它们拼接在一起，形成了一张残缺的图形。
然后电子束用纳米套刻的方式，将模板图形套刻在晶圆上，之后电子束再逐点扫描，将图形补全。
光刻部分，就完成了！
当然，真正的生产不会如此简单，不过大体的过程就是如此了。
连学志点头道：“陈飞，你的理解大体没错。”
陈飞诚恳地问道：“多谢连教授指点，我还有一个疑惑，就是无尘室。晶圆厂的无尘室，似乎不是单纯为了保证晶圆不受灰尘干扰，同时也是为了保证良率。不用无尘室，良率会不会出问题？”
连学志笑道：“普通的晶圆厂，需要用无尘室，主要是因为他们的工序太多了，差不多有200到300道工序。但是用电子束，20道左右就可以了。无尘室在这里不是关键。”
陈飞终于把大体的问题想通了。
为什么厂房只需要一个足球场就够了，因为工序少，设备也就少，同时也就不需要无尘室；
为什么一次只生产一块0.5寸的单芯片，因为是电子束，哪怕是12寸晶圆，它也得一个一个去刻。所以没必要用12寸，0.5寸单芯片就足够了。
为什么不需要额外光罩，因为用的是可以重复使用的光罩库。
而且在制程上，可以直达3nm！
一条清晰的脉络瞬间贯通。
陈飞看着全息影像中的迷你晶圆厂运行，不得不赞叹，这个构思实在太巧妙了。
如果RB人真的如此做，那么在接下来的竞争中，他们的反扑将会非常凌厉。
同样的，如果陈飞掌握了这项技术，那么在制程竞争中，就会迅速反超。EUV的波长很短，只有13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！
波长短，就更容易开发出先进制程。
陈飞来回巡视着，最终将目光停留在电子束光刻机上。
他说道：“教授，电子束光刻机才是关键啊。”
连学志神色也严肃起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一直只能在实验室中应用。RB人的数据却不同，他们的速度，起码是1分钟1片的速度，太夸张了，我不知道他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”
说到后面，连学志居然自我怀疑起来。
陈飞忽然笑了，坚决地说道：“不管RB人是不是用电子束，我已经决定要用它了！我们就走这条路！教授，我需要一支完整的芯片工艺开发团队，您能不能帮我招募，如果您能领衔参与，那就更好了。”
连学志说道：“电子束的工艺开发，比起光刻来说，容易很多。不过设备这一块，我就不行了。”
陈飞躬身道：“那就拜托您了。”
事情终于有了眉目，陈飞稍微松了口气。
目前所有的问题，都集中在电子束光刻机身上。
有个好消息就是，国内目前有顶尖的电子束光刻机设备商，虽然是收购来的。
博康收购了英国NBL电子束光刻机，而且把生产线搬到了国内。
坦率的讲，陈飞不知道他们是怎么完成此项壮举的。
不过也不需要了解，只要能买到设备就行了。
NBL的电子束光刻机，直写的速度同样很慢，事实上目前市面上出售的所有电子束光刻机，直写速度都极慢。
是极慢！不是慢。比起光刻来，需要的时间，多了最少一百倍。
但是RB的速度，是1分钟1片，只比普通光刻稍微多了一点，实在太快了，让人不敢相信用的是电子束。这也是唯一矛盾的地方。
不过陈飞不想深究这个问题，还是那句话，不管RB用的究竟是什么技术，他已经决定用电子束！
因为相比起其他人，他的最大优势，就是掌控电子和原子的能力。
哪怕花掉身上所有的灰雾能量和白雾能量，也要将快速电子束光刻机研究出来。
这项技术，是真正的弯道超车。
问题主要是，如果真的做出来怎么解释？他不可能同时精通那么多领域，会被人怀疑的。
连学志笑道：“不是不用光罩，而是组合重复使用，将光罩作为固定投资，而不是耗材。”
光罩国内也有人叫它掩膜版，在目前所有晶圆厂中，包括intel，台积电，中芯等，都是作为耗材使用的。
每一款芯片，都必须为它制作一组光罩组。哪怕它们没有损坏，到了下一款芯片，这些光罩组，都不能使用了，必须为新芯片制作新的光罩。
比如华为麒麟950，流片和生产的时候，用了一组光罩；等到麒麟960的时候，不少设计其实是相同的，但是老的光罩一点都不能用了，必须全换新的。这些成本全部由华为承担。
随着工艺的提升，光罩的费用也在飞速增加，从几百万美元，到上千万美元，在新工艺的初期，价格甚至会达到上亿美元。
小米做手机芯片，愣是不敢直接上16nm，就是怕流片失败。
苹果财大气粗，可以流片2，3次，然后选出最好的定型。
但是换作其他芯片厂，失败一次就元气大伤，失败两次差不多就要破产了。
所以，不要抱怨芯片设计保守，不保守不行。
迷你晶圆厂就没有这些问题了，光罩在这里是作为固定资产，而不是耗材，流片的成本，瞬间会骤降！
陈飞激动不已，跟着他又想起一个问题来：“不知道用电子束，能不能达到10nm工艺。”
连学志有些矜持地说道：“我在IBM的时候，做过2nm的器件，当然只有几十个晶体管了，主要是探索工艺。”
陈飞直接跳了起来，要不是连学志就在眼前，要保持形象，他直接想爆粗口了。
他激动地走来走去，过了一会儿，才将思路重新整理清楚。
他操作了一会，用全息影像的方式，将思路展现出来。
只见影像中，芯片设计公司，将设计图交给晶圆厂，然后晶圆厂分析设计图，再从光罩库中，选择光罩单元，将它们拼接在一起，形成了一张残缺的图形。
然后电子束用纳米套刻的方式，将模板图形套刻在晶圆上，之后电子束再逐点扫描，将图形补全。
光刻部分，就完成了！
当然，真正的生产不会如此简单，不过大体的过程就是如此了。
连学志点头道：“陈飞，你的理解大体没错。”
陈飞诚恳地问道：“多谢连教授指点，我还有一个疑惑，就是无尘室。晶圆厂的无尘室，似乎不是单纯为了保证晶圆不受灰尘干扰，同时也是为了保证良率。不用无尘室，良率会不会出问题？”
连学志笑道：“普通的晶圆厂，需要用无尘室，主要是因为他们的工序太多了，差不多有200到300道工序。但是用电子束，20道左右就可以了。无尘室在这里不是关键。”
陈飞终于把大体的问题想通了。
为什么厂房只需要一个足球场就够了，因为工序少，设备也就少，同时也就不需要无尘室；
为什么一次只生产一块0.5寸的单芯片，因为是电子束，哪怕是12寸晶圆，它也得一个一个去刻。所以没必要用12寸，0.5寸单芯片就足够了。
为什么不需要额外光罩，因为用的是可以重复使用的光罩库。
而且在制程上，可以直达3nm！
一条清晰的脉络瞬间贯通。
陈飞看着全息影像中的迷你晶圆厂运行，不得不赞叹，这个构思实在太巧妙了。
如果RB人真的如此做，那么在接下来的竞争中，他们的反扑将会非常凌厉。
同样的，如果陈飞掌握了这项技术，那么在制程竞争中，就会迅速反超。EUV的波长很短，只有13.5nm，intel和台积电都还没用上EUV呢。但是电子束的波长更短！
波长短，就更容易开发出先进制程。
陈飞来回巡视着，最终将目光停留在电子束光刻机上。
他说道：“教授，电子束光刻机才是关键啊。”
连学志神色也严肃起来，说道：“是的，电子束很好，但是它太慢了，之前一直只能在实验室中应用。RB人的数据却不同，他们的速度，起码是1分钟1片的速度，太夸张了，我不知道他们是如何做到的。或许他们不是用电子束？”
说到后面，连学志居然自我怀疑起来。
陈飞忽然笑了，坚决地说道：“不管RB人是不是用电子束，我已经决定要用它了！我们就走这条路！教授，我需要一支完整的芯片工艺开发团队，您能不能帮我招募，如果您能领衔参与，那就更好了。”
连学志说道：“电子束的工艺开发，比起光刻来说，容易很多。不过设备这一块，我就不行了。”
陈飞躬身道：“那就拜托您了。”
事情终于有了眉目，陈飞稍微松了口气。
目前所有的问题，都集中在电子束光刻机身上。
有个好消息就是，国内目前有顶尖的电子束光刻机设备商，虽然是收购来的。
博康收购了英国NBL电子束光刻机，而且把生产线搬到了国内。
坦率的讲，陈飞不知道他们是怎么完成此项壮举的。
不过也不需要了解，只要能买到设备就行了。
NBL的电子束光刻机，直写的速度同样很慢，事实上目前市面上出售的所有电子束光刻机，直写速度都极慢。
是极慢！不是慢。比起光刻来，需要的时间，多了最少一百倍。
但是RB的速度，是1分钟1片，只比普通光刻稍微多了一点，实在太快了，让人不敢相信用的是电子束。这也是唯一矛盾的地方。
不过陈飞不想深究这个问题，还是那句话，不管RB用的究竟是什么技术，他已经决定用电子束！
因为相比起其他人，他的最大优势，就是掌控电子和原子的能力。
哪怕花掉身上所有的灰雾能量和白雾能量，也要将快速电子束光刻机研究出来。
这项技术，是真正的弯道超车。
问题主要是，如果真的做出来怎么解释？他不可能同时精通那么多领域，会被人怀疑的。