第277章 光刻机测试（上）
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宁雪画完一个线条，放下铅笔，站直身体，活动一下发酸的手腕，说道：“这是打板用的图纸，画幅太大，家里的打印机根本打印不出来。除非购买专用的绘图仪，才能借助计算机画这么大的图纸。”
吴志航尴尬一笑，说道：“我对你们服装行业还真不太了解，还以为服装设计图和电路图一样，都能用打印机打印呢。小雪，深圳那边研发的光刻机已经生产出了样机，明天我要回国去见证光刻机的第一次测试，你要一起回去吗？”
宁雪摇摇头，说道：“飞雪公司刚刚创建，连一件产品都没卖出去，我肯定不能此时回国，你先自己回去吧。天地玄门不是能设置三个固定穿越点吗，你在浅水湾别墅那里设一个穿越点，以后白天在深圳上班，晚上通过天地玄门回浅水湾别墅陪我睡觉不就可以了。”
吴志航凑过头去，在宁雪额头亲了一口，说道：“还是老婆你聪明，有了天地玄门，咱们就再也不怕两地分居了。”
宁雪脸颊羞红的将吴志航推开，说道：“这还在公司呢，不要动手动脚的。”
第二天，吴志航驱车返回了深圳电子产业园，连别墅也没回，第一时间就来到了晶圆工厂。光刻机需要工作在超高无尘环境下，刚刚组装完成的测试样机正在无尘车间内安装调试。吴志航换了一身白色防尘服，戴上防尘帽，通过风淋间进入无尘车间。
此时是上午十点左右，处于每天的早班时间，晶圆工厂的四条芯片生产线正在全力运作，数千名工人，正在生产线上，有条不紊的工作。走过生产区域，进入测试区域，以梁安平为首的几十名研究人员，正围在一台一人多高的设备，做最后的调试，旁边还有几名北极星公司的高管站在那里围观。吴志航凑上前去，朝研发部长吴光辉问道：“这台就是光刻机研发实验室制作出的第一台光刻机，什么时候能开始光刻测试？”
听到有人提问，杨威力、丁小雅等人同时转头看过来，见是老板吴志航，纷纷打招呼问好，吴光辉出声给吴志航解释道：“对，就是这台机器，昨天组装完成之后，第一时间就从研发大楼搬运到了无尘车间，经过一天一夜的安装调试，现在已经要差不多了。”
吴志航满意的点点头，围着光刻机转了一圈，这台设备为全封闭结构，就像一个四四方方的铁皮文件柜，外壳喷涂成了乳白色，左右两侧，设置有硅晶圆入口和出口，靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。他有些疑惑的问道：“只看外表，和佳能、尼康的光刻机似乎都不太一样，这是对外壳进行了优化吗？”
吴光辉摇摇头，说道：“不止优化了外壳，也优化了部分内部结构。老板你提供的资料里不是有一部分0.5微米光刻机的预研资料吗，梁教授他们研发一微米光刻机的时候，参考了0.5微米光刻机的内部结构，对设计图进行了一些更改优化。理论上来说，这些优化对晶圆的加工速度和加工精度，都有所提升，实际情况如何，还需要测试过后才知道。”
梁安平等人又忙活了半个多小时，光刻机终于调试完成，将提前准备好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。杨威力通过对讲机沟通，让一位名为白巧玲的女工，送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆，梁安平亲自动手，将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上，然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音，一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部，在深色玻璃观察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，开始对硅晶圆进行加工。
见状，吴志航出声询问道：“这台光刻机使用的是哪种光源，是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line，还是248nm的KrF（氟化氪）准分子激光作为光源？”
吴光辉答道：“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源，理论上，这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米，作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源，是下一代光刻机光源技术，咱们研发部已经立项开始研发，但这种技术在世界范围内，也是最前沿研发项目，开发难度非常高，不是短期内能攻克的。”
这台光刻机的加工速度还是很快的，即使是初次测试，白巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内，全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上，多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版，是晶圆工厂正在生产的ARM1芯片掩膜版，其复杂程度和尺寸大小，是晶圆工厂出产的所有芯片之最。按照原本的计划，第一次光刻测试，应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标，这样一来，就可以从易到难，逐步查漏补缺，将光刻机修改完善。但梁安平和几个主要研发人员，对光刻机测试样机非常有信心，直接上了最大难度，也是需求量最大的ARM1芯片。
北极星公司推出的第二代游戏掌机上市之后，立刻受到电玩爱好者的热捧，仅仅上市半个多月，就售出了300万台。随机配送的《超级玛丽》和《功夫小子》两款游戏，在画面、音效、游戏可玩性上，碾压市面上的所有游戏。游戏掌机热销，作为主控芯片的ARM1需求量大增，可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间，提升速度非常缓慢。经过孟小刚、梁安平，几个相关领域的专家研究分析，认为ARM1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备，能正常生产芯片就不错了，想要苛求加工参数完全达标，几乎不可能。其中影响最大的，就是作为核心设备的光刻机。
宁雪画完一个线条，放下铅笔，站直身体，活动一下发酸的手腕，说道：“这是打板用的图纸，画幅太大，家里的打印机根本打印不出来。除非购买专用的绘图仪，才能借助计算机画这么大的图纸。”
吴志航尴尬一笑，说道：“我对你们服装行业还真不太了解，还以为服装设计图和电路图一样，都能用打印机打印呢。小雪，深圳那边研发的光刻机已经生产出了样机，明天我要回国去见证光刻机的第一次测试，你要一起回去吗？”
宁雪摇摇头，说道：“飞雪公司刚刚创建，连一件产品都没卖出去，我肯定不能此时回国，你先自己回去吧。天地玄门不是能设置三个固定穿越点吗，你在浅水湾别墅那里设一个穿越点，以后白天在深圳上班，晚上通过天地玄门回浅水湾别墅陪我睡觉不就可以了。”
吴志航凑过头去，在宁雪额头亲了一口，说道：“还是老婆你聪明，有了天地玄门，咱们就再也不怕两地分居了。”
宁雪脸颊羞红的将吴志航推开，说道：“这还在公司呢，不要动手动脚的。”
第二天，吴志航驱车返回了深圳电子产业园，连别墅也没回，第一时间就来到了晶圆工厂。光刻机需要工作在超高无尘环境下，刚刚组装完成的测试样机正在无尘车间内安装调试。吴志航换了一身白色防尘服，戴上防尘帽，通过风淋间进入无尘车间。
此时是上午十点左右，处于每天的早班时间，晶圆工厂的四条芯片生产线正在全力运作，数千名工人，正在生产线上，有条不紊的工作。走过生产区域，进入测试区域，以梁安平为首的几十名研究人员，正围在一台一人多高的设备，做最后的调试，旁边还有几名北极星公司的高管站在那里围观。吴志航凑上前去，朝研发部长吴光辉问道：“这台就是光刻机研发实验室制作出的第一台光刻机，什么时候能开始光刻测试？”
听到有人提问，杨威力、丁小雅等人同时转头看过来，见是老板吴志航，纷纷打招呼问好，吴光辉出声给吴志航解释道：“对，就是这台机器，昨天组装完成之后，第一时间就从研发大楼搬运到了无尘车间，经过一天一夜的安装调试，现在已经要差不多了。”
吴志航满意的点点头，围着光刻机转了一圈，这台设备为全封闭结构，就像一个四四方方的铁皮文件柜，外壳喷涂成了乳白色，左右两侧，设置有硅晶圆入口和出口，靠外一侧安装着一个控制面板和一台大屁股显示器。他有些疑惑的问道：“只看外表，和佳能、尼康的光刻机似乎都不太一样，这是对外壳进行了优化吗？”
吴光辉摇摇头，说道：“不止优化了外壳，也优化了部分内部结构。老板你提供的资料里不是有一部分0.5微米光刻机的预研资料吗，梁教授他们研发一微米光刻机的时候，参考了0.5微米光刻机的内部结构，对设计图进行了一些更改优化。理论上来说，这些优化对晶圆的加工速度和加工精度，都有所提升，实际情况如何，还需要测试过后才知道。”
梁安平等人又忙活了半个多小时，光刻机终于调试完成，将提前准备好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。杨威力通过对讲机沟通，让一位名为白巧玲的女工，送来了几十片已经涂好光刻胶的硅晶圆，梁安平亲自动手，将硅晶圆安置到光刻机晶圆入口处的支架上，然后按下操作面板上的启动按钮。光刻机内部传出细微的机械转动声音，一张硅晶圆被机械臂送进光刻机内部，在深色玻璃观察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，开始对硅晶圆进行加工。
见状，吴志航出声询问道：“这台光刻机使用的是哪种光源，是高压汞灯产生的436nmg-line和365nmi-line，还是248nm的KrF（氟化氪）准分子激光作为光源？”
吴光辉答道：“现在使用的是高压汞灯产生的365nmi-line作为光刻光源，理论上，这种光源能一直将光刻机的加工精度提升到0.35微米，作为未来一两代光刻机的光源足够使用了。准分子激光光源，是下一代光刻机光源技术，咱们研发部已经立项开始研发，但这种技术在世界范围内，也是最前沿研发项目，开发难度非常高，不是短期内能攻克的。”
这台光刻机的加工速度还是很快的，即使是初次测试，白巧玲拿来的几十片硅晶圆也在二分钟内，全部完成了光刻加工。这些光滑如镜的硅晶圆上，多了很多方块状的纹路。测试用的掩膜版，是晶圆工厂正在生产的ARM1芯片掩膜版，其复杂程度和尺寸大小，是晶圆工厂出产的所有芯片之最。按照原本的计划，第一次光刻测试，应该选用最为简单的单片机芯片作为加工目标，这样一来，就可以从易到难，逐步查漏补缺，将光刻机修改完善。但梁安平和几个主要研发人员，对光刻机测试样机非常有信心，直接上了最大难度，也是需求量最大的ARM1芯片。
北极星公司推出的第二代游戏掌机上市之后，立刻受到电玩爱好者的热捧，仅仅上市半个多月，就售出了300万台。随机配送的《超级玛丽》和《功夫小子》两款游戏，在画面、音效、游戏可玩性上，碾压市面上的所有游戏。游戏掌机热销，作为主控芯片的ARM1需求量大增，可是产品合格率始终徘徊在60%~70%之间，提升速度非常缓慢。经过孟小刚、梁安平，几个相关领域的专家研究分析，认为ARM1合格率过低的原因恰恰是光刻机精准度不达标造成的。晶圆工厂内的这几条芯片生产线毕竟是使用了一二十年的设备，能正常生产芯片就不错了，想要苛求加工参数完全达标，几乎不可能。其中影响最大的，就是作为核心设备的光刻机。